実験装置

クラスターイオン生成装置

 常温で液体や気体などの物質からクラスターを生成し、イオン化・サイズ分離を行い、クラスターイオンと固体表面との相互作用を解析する装置。

クラスターイオン生成装置

高機能薄膜形成装置

 原子・分子状やクラスター状のイオンビームを用いて、金属、半導体、絶縁物などの高機能薄膜を作製する装置。

高機能薄膜形成装置

イオンビーム照射装置

 原子・分子状やクラスター状のイオンビームの輸送を行い、質量分離を行って固体表面に照射する装置。

イオンビーム照射装置
Copyright © 2008 京都大学 光・電子理工学教育研究センター ナノプロセス工学分野